本發(fā)明涉及成膜裝置以及成膜方法。、已知有對(duì)基板蒸鍍以蒸鍍物質(zhì)來進(jìn)行成膜的技術(shù)。在專利文獻(xiàn)中公開了一邊使蒸鍍?cè)匆苿?dòng)一邊向基板放出蒸鍍物質(zhì)來進(jìn)行成膜的技術(shù)。有時(shí)通過一邊使蒸鍍?cè)匆苿?dòng)一邊成膜,能降低因蒸鍍?cè)吹慕Y(jié)構(gòu)或個(gè)體差異所導(dǎo)致的不均,能提高基板上的膜厚分布的均勻性。、在先技術(shù)文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)、專...